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電子無(wú)塵烤箱,電子潔凈烘箱 工業(yè)烘箱

電子無(wú)塵烤箱,電子潔凈烘箱 工業(yè)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

電子無(wú)塵烤箱,電子潔凈烘箱
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。一般是芯片電路設(shè)計(jì)-晶圓的制造-晶圓的測(cè)試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測(cè)試。在整個(gè)工藝中晶圓烘烤工藝也很重要,且需要多次烘烤。

電子無(wú)塵烤箱,電子潔凈烘箱的應(yīng)用:

  晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片。在硅芯片上可加工制作成各種電路組件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。一般是芯片電路設(shè)計(jì)-晶圓的制造-晶圓的測(cè)試-晶圓的切割研磨-芯片的封裝-成品芯片的測(cè)試。在整個(gè)工藝中晶圓烘烤工藝也很重要,且需要多次烘烤。

電子無(wú)塵烤箱,電子潔凈烘箱的組成:

烘烤工作室:需烘烤的產(chǎn)品放置區(qū);

潔凈室:高效過(guò)濾器凈化工作室內(nèi)空氣,達(dá)到class100潔凈度;

控制部分:溫度、時(shí)間、記錄、溫度檢測(cè)、烤箱開(kāi)關(guān)等操作區(qū);

電器箱:無(wú)塵烤箱電器部分,電子元件等安裝區(qū);

其他:氮?dú)饨涌?,排風(fēng)閥門(mén),掃碼槍等。

電子無(wú)塵烤箱技術(shù)性能:

溫度范圍:RT+10~200、300/450℃;

升溫速率:≥5℃/min(可定制);
溫度均勻度:±1.5%℃;    

溫度波動(dòng)度:±0.5;        
溫控精度:0.1℃;

時(shí)間設(shè)定范圍:0.1S-9999H;

內(nèi)腔數(shù)量:?jiǎn)吻?,上下層雙腔體,四腔體等;

腔內(nèi)分層:2層或多層

內(nèi)箱材料:SUS304鏡面不銹鋼制作;

外箱材料:優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或#304鏡面不銹鋼制作;

密封材料:密封條采用硅膠膠條制作,可耐溫不變形,;

保溫材料;阻燃陶瓷纖維。

外殼溫度:在 200℃以?xún)?nèi),不高于室溫+15℃,門(mén)周邊接接縫處除外。

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