晶圓退火烤箱,500度退火氮?dú)夂嫦渚A退火需進(jìn)行升溫處理,升溫處理具有多個(gè)升溫階段,每個(gè)升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個(gè)區(qū)域在每個(gè)所述升溫階段中的溫度不同;對(duì)所述多個(gè)區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對(duì)多個(gè)區(qū)域采用氮?dú)獗Wo(hù),該氮?dú)夂嫦洳捎幂o助降溫方式進(jìn)行降溫處理。
無(wú)氧烘箱,智能無(wú)氧雙層烘箱可選用條形碼上傳IT后,接收由IT比對(duì)下載制程數(shù)據(jù)或直接接收IT所下載制程數(shù)據(jù)方式,系統(tǒng)并自動(dòng)將制程寫入溫控器,達(dá)到遠(yuǎn)程制程下載,避免人員制程選擇操作錯(cuò)誤問(wèn)題;
小型恒溫恒濕箱,半導(dǎo)體高低溫濕熱試驗(yàn)箱可以用來(lái)確認(rèn)產(chǎn)品在溫濕度氣候環(huán)境條件下儲(chǔ)存、運(yùn)輸以及使用適應(yīng)性。
真空無(wú)氧烘箱,高溫?zé)o氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合材料預(yù)處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
充氮烘箱,充氮潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
全氟辛基三氯硅烷涂膠機(jī),抗粘劑PFTS烘箱主要用于納米壓印光刻(NIL)應(yīng)用,防粘涂層的制備,可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠;以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
冷熱沖擊測(cè)試機(jī),冷熱循環(huán)氣流儀在短的時(shí)間內(nèi)(約10秒)檢測(cè)樣品因高低溫冷熱沖擊()-65℃~220℃)所引起的化學(xué)變化和物理傷害,減少測(cè)試與驗(yàn)證時(shí)間,快速提高產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)效率。廣泛應(yīng)用于通信、半導(dǎo)體、芯片、傳感器等領(lǐng)域。