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智能型無塵無氧烘箱,可程式高溫?zé)o氧烤箱用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

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精密烤膠機，高精度烘膠臺是我司針對研究的需要設(shè)計了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.

精密烤膠臺，高精度烘膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。熱板溫度穩(wěn)定度高，重復(fù)性好?？稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

電子真空儲存柜，半導(dǎo)體真空存儲箱主要用于儲存光學(xué)零件、半導(dǎo)體元器件、金屬材料、精密機械、電子零件、化工產(chǎn)品、化工原料、稀土材料、藍景膜、厭氧材料、易氧化材料及不便于冷藏的珍貴食品，肉食蔬菜果品及中西藥品以及易潮濕的衣物床上用品等。

HAST可靠性試驗機，高加速壽命試驗箱被廣泛應(yīng)用于國防、航天、汽車部件、電子零配件、塑膠、制藥等行業(yè)相關(guān)之產(chǎn)品作加速壽命試驗。當(dāng)HAST試驗應(yīng)用于產(chǎn)品的設(shè)計階段時,可以快速暴露產(chǎn)品的缺陷和薄弱環(huán)節(jié)，特別是線路板,多層線路板,IC半導(dǎo)體,LCD,磁鐵等產(chǎn)品之密封性能的檢測, 測試其制品的耐壓性,氣密性。

抗粘 劑氣相涂布烘箱，抗粘劑 氣相沉積系統(tǒng)主要用于納米壓印光刻（NIL）應(yīng)用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中硅烷涂膠；以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。