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為什么HMDS烘箱處理后可以增粘

更新時(shí)間:2022-10-20   點(diǎn)擊次數(shù):1426次

HMDS烘箱也稱為智能型HMDS真空系統(tǒng)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)等。半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面的氧化物的形式存在的二氧化硅以及大多數(shù)金屬在暴露于大氣中在一定的濕度下、足夠長(zhǎng)時(shí)間后在其表面形成極性O(shè)H鍵。這種襯底是親水性的,因此對(duì)光刻膠的非極性或低極性樹脂分子具有較差的親和力。為了使這樣的襯底表面具有疏水性,可以用化學(xué)方法將HMDS等非極性分子附著在其表面上,需要HMDS烘烤箱來處理。

 HMDS烘箱處理的優(yōu)勢(shì)HMDS是蒸發(fā)鍍膜,涂布厚度佳、均勻性好。旋涂式涂布厚度較厚,烘烤過程中有氨氣釋放,導(dǎo)致一些不利情況出現(xiàn)。



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